设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR8230
尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
| 手臂 | 双手臂单刀片型 |
|---|---|
| 自由度(附带绝对编码器) | 5-AXES |
| 可动范围「R轴」(㎜) | (第1,2轴手臂)534 |
| 可动范围「Ｚ軸」(㎜) | 300/600 |
| 可动范围「θ軸」(deg) | 340 |
| 最大速度「R轴」(rad/sec) | (第1,2轴手臂)5.76 |
| 最大速度「Ｚ軸」(㎜/sec) | 450 |
| 最大速度「θ軸」(rad/sec) | 6.98 |
| 往复精度(㎜) | +/-0.1 |
| 洁净度 | ISO Class 2 |
| 产品搬运公司 | NIDEC INSTRUMENTS |