设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR8240
尼得科仪器株式会社
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。
- 特点：
- ・300mm 应对2～3端口・紧凑的构造、很小的占有面积・具有多功能和可回旋的手臂・独立的双驱动系统实现2片同时取放・和晶圆合同片间距的2片同取放
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产品数据
基本信息
| 自由度 | 5-AXIS |
|---|---|
| 可动范围「翻转轴」(deg) | -270～+450 |
| 可动范围「X轴」(㎜) | -432～+432 |
| 可动范围「Z轴」(㎜) | 300 |
| 可动范围「θ轴」(deg) | +/-180 |
| 最大速度「翻转轴」(rad/sec) | 9.42 |
| 最大速度「X轴」(㎜/s) | 1680 |
| 最大速度「Z轴」(㎜/s) | 500 |
| 最大速度「θ轴」(㎜/s) | 8.72 |
| 最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.1 |
| 最大速度「本体重量」(kg) | 60 |
| 最大速度「控制器」 | SC5000 |
| 产品搬运公司 | 日本电产三協 |
