设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR8240

经营本产品的公司名:日本电产三協[NIDEC SANKYO]

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点:
・300mm 应对2~3端口・紧凑的构造、很小的占有面积・具有多功能和可回旋的手臂・独立的双驱动系统实现2片同时取放・和晶圆合同片间距的2片同取放
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产品数据

基本信息

自由度 5-AXIS
可动范围「翻转轴」(deg) -270~+450
可动范围「X轴」(㎜) -432~+432
可动范围「Z轴」(㎜) 300
可动范围「θ轴」(deg) +/-180
最大速度「翻转轴」(rad/sec) 9.42
最大速度「X轴」(㎜/s) 1680
最大速度「Z轴」(㎜/s) 500
最大速度「θ轴」(㎜/s) 8.72
最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.1
最大速度「本体重量」(kg) 60
最大速度「控制器」 SC5000
产品搬运公司 日本电产三協

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日电产三协电子(深圳)有限公司

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