设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR8673 Series

日本电产三协株式会社

G8~10.5

特点:
采用滑块驱动方式,直线性能优异
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产品数据

基本规格

真空度 1.3×10-3 Pa or less
动作范围 R轴 4725 ㎜
动作范围 Z轴 ~1000 ㎜
动作范围 θ轴 -185 ~ +140°
最大速度 R轴 3000 ㎜ / sec
最大速度 Z轴 400 ㎜ / sec
最大速度 θ轴 1.57 rad / sec
重复定位精度 ±0.25 ㎜

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日电产三协电子(深圳)有限公司

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