设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR9143 Series
尼得科仪器株式会社
产品数据
基本规格
| 动作范围 Ｒ轴 | -815 ～ +930 ㎜ |
|---|---|
| 动作范围 Ｚ轴 | ～1000 ㎜ |
| 动作范围 θ轴 | -140 ～ +185° |
| 动作范围 走行轴 | ～11700 ㎜ |
| 最大速度 Ｒ轴 | 2.7 rad / sec |
| 最大速度 Ｚ轴 | 800 ㎜ / sec |
| 最大速度 θ轴 | 2.75 rad / sec |
| 最大速度 走行轴 | 2300 ㎜ / sec |
| 重复定位精度 | ±0.2 ㎜ |
| 最大有效载荷 | 15 kg / 1Arm (包HAND) |
