设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR9143 Series

G4.5G

特点:
采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
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产品数据

基本规格

动作范围 R轴 -815 ~ +930 ㎜
动作范围 Z轴 ~1000 ㎜
动作范围 θ轴 -140 ~ +185°
动作范围 走行轴 ~11700 ㎜
最大速度 R轴 2.7 rad / sec
最大速度 Z轴 800 ㎜ / sec
最大速度 θ轴 2.75 rad / sec
最大速度 走行轴 2300 ㎜ / sec
重复定位精度 ±0.2 ㎜
最大有效载荷 15 kg / 1Arm (包HAND)

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