设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR9183 Series

日本电产三协株式会社

G4.5G

特点:
FO-PLP 可用于EFEM(应对多层设备)
关于产品的咨询
相关垂询

产品数据

基本规格

动作范围 R轴 -1190 ~ +1190 ㎜
动作范围 Z轴 ~2400 ㎜
动作范围 θ轴 -140 ~ +185°
动作范围 走行轴 ~11700 ㎜
最大速度 R轴 3.32 rad / sec
最大速度 Z轴 900 ㎜ / sec
最大速度 θ轴 2.4 rad / sec
最大速度 走行轴 3000 ㎜ / sec
重复定位精度 ±0.2 ㎜
最大有效载荷 15 kg / 1Arm (包HAND)

关于产品的咨询

日电产三协电子(深圳)有限公司

邮件垂询

电话垂询

(86)769-8611-4520

关于产品的相关垂询

相关垂询

Nidec Group Search