设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR9581 Series

日本电产三协株式会社

G10.5

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产品数据

基本规格

动作范围 R轴 -2925 ~ +2575 ㎜
动作范围 Z轴 ~6200 ㎜
动作范围 θ轴 -140 ~ +185 °
动作范围 走行轴 ~16500 ㎜
最大速度 R轴 1.86 rad / sec
最大速度 Z轴 1300 ㎜ / sec
最大速度 θ轴 1.05 rad / sec
最大速度 走行轴 ~2000 ㎜ / sec
重复定位精度 ±0.25 ㎜
最大有效载荷 150 kg / 1Arm (包HAND)

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