设备装置・机床｜FA设备｜液晶玻璃基板搬运用机器人 本体
SR8665
尼得科仪器株式会社
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。
- 特点：
- ・S轴、TH轴、Z轴的独立控制运行、使各轴可同时动作・可适用于任何腔体、具有高自由度的设计・第一ARM为止都保持在大气范围的设计、有利于驱动部的热量处理・除了玻璃基板以外、重量级的MASK也可搬运・吸附位置可根据基板外周定位、进行FaceDown搬运・减少了手臂关节的轴承数以降低润滑油的排气量・可安装真空用载荷传感器
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产品数据
基本信息
| 真空度 | 1.3×10-5 |
|---|---|
| 自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
| 动作范围「S轴」(deg) | +/-290 +/-150 |
| 动作范围「Z轴」(㎜) | 250～820 |
| 动作范围「θ1轴」(deg) | +/-290 |
| 最大速度「S轴」(deg./s) | 100/115 |
| 最大速度「Z轴」(㎜/s) | 160～350 |
| 最大速度「θ1轴」(deg./s) | 100 |
| 最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.5 |
| 最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
| 最大速度「本体重量」(kg) | 100 |
| 最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～1500×925 t=0.4～0.7 1700×1100 |
| 产品搬运公司 | 日本电产三協 |
