设备装置・机床｜FA设备｜液晶玻璃基板搬运用机器人 本体
SR8670
尼得科仪器株式会社
- 特点：
- ・减小了旋转半径、使全体的占有面积减小・减少了关节数提高了热传导性・真空和大气间的连接部的最小化和R轴的驱动部模块化使维护更容易
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产品数据
基本信息
| 真空度 | 5.0×10-3 |
|---|---|
| 自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
| 动作范围「RR/RL轴」(㎜) | -2400～+2530 |
| 动作范围「Z轴」(㎜) | 670 |
| 动作范围「θ轴」(deg) | 67～-185 |
| 最大速度「RR/RL轴」(deg./S) | 45 |
| 最大速度「Z轴」(㎜/s) | 400 |
| 最大速度「θ轴」(deg./s) | 72 |
| 最大速度「重复精度」(㎜) | +/- 0.5 |
| 最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
| 最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～3000×3400 t=0.4～0.7 |
| 产品搬运公司 | 日本电产三協 |
