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USM

超声波马达(ultrasonic motor:USM)是利用摩擦力将金属制弹性体(振子、定子)产生的振幅数μm的固有振动(共振)转换成移动体(转子、滑块)旋转及平移运动的传动装置。它是1980年由指田年生先生发明的。
弹性体的固有振动数(共振频率)在超声波领域(20kHz以上),因此,称为超声波马达。固有振动通过配置在振动体内部的压电陶瓷(PZT)产生。
与普通的电磁马达相比,超声波马达具有以下特点。
①具有低速・高扭矩特性,不需要减速装置
②不需要减速齿轮,因此,静音性能优异
③不通电时拥有保持扭矩
④不会受到磁影响,不产生电磁场
⑤小型・轻量
同时具有以下缺点。
①磨耗较大,耐久性能差
②很难进行高速运行
③需要高频电源及复杂的驱动电路
超声波马达充分发挥了上面列举出的①~⑤的优点,用于单反相机的自动对焦及扫描式电子显微镜、半导体制造装置、微型设备制造装置等精密定位装置。此外,利用低速高扭矩特性及不通电时的扭矩保持特性,还可用于卷帘·窗帘的升降、头枕的定位等。而且,还利用不受磁影响的特征,用于使用磁性的医疗诊断设备中的MRI的本体及周边设备等。

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