機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR8608
ニデックインスツルメンツ株式会社
- 特徴：
- ・高スループットを実現する2アーム×2EndEffector(SR8608シリーズ)・ブーメランアームで最小回転半径確保(小さなフットプリントを実現)・長いZストロークで大バッファー量確保が可能
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製品データ
基本情報
| 真空度(Pa) | 3×10-6 |
|---|---|
| 自由度 | 4-AXIS |
| 動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -340～+360 |
| 動作範囲「θ軸」(deg) | -95～+185 |
| 動作範囲「Z軸」(㎜) | 150 |
| 最高速度「RR/RL軸」(㎜) | 225(2670㎜/sec) |
| 最高速度「θ軸」(deg) | 225 |
| 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 100 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
| 最高速度「騒音」(dB) | 70 or less |
| 最高速度「本体重量」(㎏) | 180(include hand) |
| 最高速度「リーク率」 | 1×10-6Pa・m3/sec |