機器装置・工作機械｜FA機器｜液晶ガラス基板搬送ロボット 本体
SR9188L
ニデックインスツルメンツ株式会社
- 特徴：
- 液晶パネル搬送ロボットの豊富な実績で得られた技術を、PLP搬送ロボットに応用しました。 外付けの アライナーを使わない、ロボット単独のアライメントも対応可能です。
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製品データ
基本情報
| R軸 | 動作範囲 -520～+770mm 、 最大速度 1743mm/sec |
|---|---|
| Z軸 | 動作範囲 425/1000/1400mm 、 最大速度 300mm/sec |
| θ軸 | 動作範囲 -95～+185° 、 最大速度 2.09rad/sec |
| 走行軸 | 動作範囲 1000mm/1900mm/2100mm/2800mm 、 最大速度 550mm/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.2mm |
| 最大可搬重量 | 8㎏/１Arm（HAND含） |