機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR8240
ニデックインスツルメンツ株式会社
自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する
- 特徴：
- 省スペース、高速作動で、高効率搬送能力を実現
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製品データ
基本情報
| 自由度 | 5-AXIS |
|---|---|
| 可動範囲「回転軸」(deg) | -270～+450 |
| 可動範囲「X軸」(㎜) | -432～+432 |
| 可動範囲「Z軸」(㎜) | 300 |
| 可動範囲「θ軸」(deg) | ±180 |
| 最高速度「回転軸」(rad/sec) | 9.42 |
| 最高速度「X軸」(㎜/s) | 1680 |
| 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 500 |
| 最高速度「θ軸」(rad/s) | 8.72 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
| 最高速度「本体重量」(㎏) | 60 |
| 最高速度「コントローラー」 | SC5000 |
| 取扱い会社 | 日本電産サンキョー |
