機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR8250
ニデックインスツルメンツ株式会社
- 特徴：
- ・Φ300㎜までのウェハーに対応するEndEffector対応・高スループットを実現する2アーム×2EndEffector構成・高い直進性を確保・高分解能アブソリュートエンコーダ付のACサーボモータ使用・安全性向上、高速/高機能SC5000コントローラを使用・ブーメランアームで最小回転半径確保(小さなフットプリントを実現)
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製品データ
基本情報
| アームタイプ | ダブルアーム/ブーメランタイプ |
|---|---|
| 自由度 | 4-AXIS |
| 可動範囲「RR/RL軸」(㎜) | -300～+300 |
| 可動範囲「θ軸」(deg) | 360(Endless) |
| 可動範囲「Z軸」(㎜) | 300 |
| 最高速度「RR/RL軸」(deg/sec) | 225(1900㎜/sec) |
| 最高速度「θ軸」(deg/sec) | 225 |
| 最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 300 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
| 最高速度「クリーン度」 | ISO Class 2 |
| 最高速度「本体重量」(㎏) | 120 |
| 最高速度「騒音」 | 80 dB or less |
| 取扱い会社 | 日本電産サンキョー |
