機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR9143 Series
ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
| 動作範囲 R軸 | -815～+930mm |
|---|---|
| 動作範囲 Z軸 | ～1000mm |
| 動作範囲 θ軸 | -140～+185° |
| 動作範囲 走行軸 | ～11700mm |
| 最大速度 R軸 *1 | 2.7rad/sec |
| 最大速度 Z軸 *1 | 800mm/sec |
| 最大速度 θ軸 *1 | 2.75rad/sec |
| 最大速度 走行軸 *1 | 2300mm/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.2mm |
| 最大可搬重量 | 15kg/1Arm(HAND含む) |
