機器装置・工作機械｜FA機器｜液晶ガラス基板搬送ロボット 本体
SR8665
ニデックインスツルメンツ株式会社
自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現する
- 特徴：
- ・S軸、TH2軸、TH1軸、Z軸を独立に動かせ、平行Accessが可能・どんなチャンバーレイアウトにも対応可能で、自由度が高い設計に寄与・1ARM内部まで、大気環境のため、駆動unitへの熱対策が容易・ガラス基板以外に、重量級マスクの搬送が可能・基板外周にハンドパッドがレイアウトできる為、FaceDown搬送に対応・アーム関節のベアリングを減らしグリスのアウトガスを低減・真空用在荷センター取り付け可能モデル
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製品データ
基本情報
| 真空度(Pa) | 1.3×10-5 |
|---|---|
| 自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
| 動作範囲「S軸」(deg) | +/-290 +/-150 |
| 動作範囲「Z軸」(㎜) | 250～820 |
| 動作範囲「θ1軸」(deg) | +/-290 |
| 最高速度「S軸」(deg./s) | 100/115 |
| 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 160～350 |
| 最高速度「θ1軸」(deg./s) | 100 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.5 |
| 最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
| 最高速度「本体重量」(㎏) | 100 |
| 最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～1500×925 t＝0.4～0.7 1700×1100 |
| 取扱い会社 | 日本電産サンキョー |
