반도체 패키지용 자동 검사 장치
GATS®-6310
취급 회사명：니덱어드밴스테크놀로지주식회사
다면취 CSP 기판 도통·단락(절연) 검사 시스템
0.6초/피스의 초고속 검사를 실현! 파인 피치 & 극박 FC-CSP 기판 검사에 최적인 고속·고정밀 차세대형 검사 장치가 등장
・고속 스텝&리피트 기구
・종합 얼라인먼트 정밀도 ±5.0μm
・부품 내장(Embedded) 기판 대응
・Flexible Head System
・케이블리스 스캐너로 고속 검사 실현
・범용 기판 클램프 기구 탑재
・스마트 얼라인먼트 기능 탑재