반도체 패키지용 자동 검사 장치
GATS®-7512
취급 회사명：니덱어드밴스테크놀로지주식회사
고속·고정밀 셔틀형 스텝&리피트식 OPEN/LEAK 자동 기판 검사 장치
다면취 기판(CCM/Memory 용도/ICS/CSP 등) 패턴의 도통·단락(절연) 검사에 최적.
CCM/ICS 검사에 최적인 고속·고정밀, 코어리스 대응 장치로,
가격·성능 모두 합리적인 모델로 신규 출시!
・더블 테이블/셔틀식
・종합 얼라인먼트 정밀도 ±5.0μm
・부품 내장(LCR 측정/Embedded IC) 기판 대응
・GATS-7755의 콘셉트를 계승하여 보다 합리적인 가격을 실현
・코어리스 기판에 최적