반도체 패키지용 자동 검사 장치
GATS®-7755
취급 회사명：니덱어드밴스테크놀로지주식회사
고속·고정밀 셔틀형 스텝&리피트식 OPEN/LEAK 자동 기판 검사 장치
다면취 기판(SLP/ICS/MCM/MCP/CSP 등) 패턴의 도통·단락(절연) 검사에 최적.
파인 피치 FC-CSP 검사에 최적인 고속·고정밀, 코어리스 대응 차세대형 검사 장치가 등장!
・더블 테이블/셔틀식
・종합 얼라인먼트 정밀도 ±2.5μm
・부품 내장(Embedded IC) 기판 대응
・케이블리스 스캐너로 고속 검사 실현
・다양한 테스터 중에서 원하는 사양을 선택 가능
・코어리스 기판에 최적