機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR8651 Series
ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
| 真空度 | 1.3×10-5 Pa or less |
|---|---|
| 動作範囲 R軸 | -565～+565mm |
| 動作範囲 Z軸 | ～820mm |
| 動作範囲 θ軸 | -185～+140° |
| 最大速度 R軸 *1 | 1.22rad/sec |
| 最大速度 Z軸 *1 | 350mm/sec |
| 最大速度 θ軸 *1 | 2.09rad/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.2mm |
| 最大可搬重量 | 65kg/1Arm(HAND含む) |
