工业机器人
实现玻璃基板和半导体芯片的低振动及稳定高速搬运 『工业机器人』
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动及平稳快速搬送，长期积累了市场实际成果，并取得高度评价及信赖。并在高温环境，真空环境，重物の搬运等方面，能研发各种顾客所需求的产品。
详细信息
液晶玻璃基板搬送用机器人
针对尺寸的玻璃面板， 加强了高速度，低能耗的性能
在世界各面板生产厂，拥有高使用率的实绩
液晶玻璃基板搬送用机器人
半导体用机械人
占有空间小，运行速度快，搬送效率高
半导体晶圆搬送用机器人
真空用液晶玻璃基板搬送用机器人
真空，高温等严峻的无尘环境中可以对应
真空用液晶玻璃基板搬送用机器人