设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR8250
尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
| 手臂 | 双手臂单刀片型 |
|---|---|
| 自由度(附带绝对编码器) | 4-AXE |
| 可动范围「R軸」(㎜) | -300～+300 |
| 可动范围「Z軸」(㎜) | 300 |
| 可动范围「θ軸」(deg) | 360 |
| 最大速度「R軸」 | (第１、２軸轴手臂)225rad/sec(1900㎜/sec) |
| 最大速度「Z軸」(㎜/sec) | 300 |
| 最大速度「θ軸」(rad/sec) | 225 |
| 往复精度(㎜) | +/-0.1 |
| 洁净度 | ISO Class 2 |
| 产品搬运公司 | 日本电产三協 |