设备装置・机床|FA设备|液晶玻璃基板搬运用机器人 本体

SR99L/SR99K/SR99M

尼得科仪器株式会社

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点:
・釆用了新型高強度的減速器、実現了高速化・不用切分Z軸和丝杆、缩短了装机时间・使用了高安全性、高速、高机能的SC5000控制器・使用了稳定的密封带和近距离的排气扇以确保高洁净度
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产品数据

基本信息

双手臂 SR99L
Upper Single Arm SR99K
Lower Single Arm SR99M
手臂长度 877.5
动作范围「RR/RL轴」(㎜) -1700~+1680
动作范围「Z轴」(㎜) 1300/1700/2600/3000/3900/4300/4700
动作范围「θ轴」(°) -185~+185
动作范围「走行轴」(㎜) 0.700~15700(1000pitch)
最大速度「RR/RL轴」(rad/s) 2.18
最大速度「Z轴 由冲程来决定」(㎜/s) 462.5~1500
最大速度「θ轴 Z轴由冲程来决定」(rad/s) 1.26~1.75
最大速度「走行轴」(㎜/s) 2000
最大速度「重复精度」(㎜) ±0.2
最大速度「最大可搬重量」(㎜) 50/ARM
最大速度「FORK的承重量」(Nm) 400
最大速度「本体重量」(Kg) 1670(Z=2600,NotTrack)
最大速度「基板尺寸」(㎜) ~1500×1850
产品搬运公司 日本电产三協

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