工业机器人

实现玻璃基板和半导体芯片的低振动及稳定高速搬运 『工业机器人』

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动及平稳快速搬送,长期积累了市场实际成果,并取得高度评价及信赖。并在高温环境,真空环境,重物的搬运等方面,能研发各种顾客所需求的产品。

详细信息

液晶,有机EL用机械人

针对尺寸的玻璃面板, 加强了高速度,低能耗的性能
在世界各面板生产厂,拥有高使用率的实绩

半导体用机械人

占有空间小,运行速度快,搬送效率高

半导体用机械人

真空,高温等严峻的无尘环境中可以对应

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