设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR8220

经营本产品的公司名:日本电产三協[NIDEC SANKYO]

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点:
・采用2ARM构造增大了搬运范围・实现了晶圆的高速传输和双片同取放・确保了超高的直线精度・ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求・可同时适用于2~8英寸包括12英寸的晶圆的搬送
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产品数据

基本信息

自由度 4-AXES
可动范围「R1/R2轴」(㎜) Short:-265 ~+245/Standard:-212~+321/Long:-319 ~+447
可动范围「Z轴」(㎜) 300/400/450/600
可动范围「θ轴」(deg) 340
最大速度「R1/R2轴」(rad/sec) 5.76
最大速度「Z轴」(㎜/sec) 450
最大速度「θ轴」(rad/sec) 6.97
最大速度「最大可搬重量」(kg) 2
最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.1
最大速度「本体重量」(kg) 60/70/85
最大速度「控制器」 SC5000
产品搬运公司 日本电产三協

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日电产三协电子(深圳)有限公司

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