设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR8220
尼得科仪器株式会社
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。
- 特点：
- ・采用2ARM构造增大了搬运范围・实现了晶圆的高速传输和双片同取放・确保了超高的直线精度・ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求・可同时适用于2～8英寸包括12英寸的晶圆的搬送
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产品数据
基本信息
| 自由度 | 4-AXES |
|---|---|
| 可动范围「R1/R2轴」(㎜) | Short：-265 ～+245/Standard：-212～+321/Long:-319 ～+447 |
| 可动范围「Z轴」(㎜) | 300/400/450/600 |
| 可动范围「θ轴」(deg) | 340 |
| 最大速度「R1/R2轴」(rad/sec) | 5.76 |
| 最大速度「Z轴」(㎜/sec) | 450 |
| 最大速度「θ轴」(rad/sec) | 6.97 |
| 最大速度「最大可搬重量」(kg) | 2 |
| 最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.1 |
| 最大速度「本体重量」(kg) | 60/70/85 |
| 最大速度「控制器」 | SC5000 |
| 产品搬运公司 | NIDEC INSTRUMENTS |
