设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR8241
尼得科仪器株式会社
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。
- 特点：
- ・大搬送范围的设计・独立的双驱动系统实现2片同时取放・紧凑的构造、很小的占有面积・应对10mm的片间距・和晶圆合同片间距的2片同取放・低取片高度・具有多功能和可回旋的手臂・3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列
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产品数据
基本信息
| 自由度 | 5-AXIS |
|---|---|
| 可动范围「翻转轴」(deg) | +/-275 |
| 可动范围「X轴」(㎜) | -750～+750 |
| 可动范围「Z轴」(㎜) | 470 |
| 可动范围「θ轴」(deg) | +/-170 |
| 最大速度「翻转轴」(rag/sec) | 9.42 |
| 最大速度「X轴」(rag/sec) | 2.44(1952㎜/sec) |
| 最大速度「Z轴」(㎜/sec) | 720 |
| 最大速度「θ轴」(rag/sec) | 6.54 |
| 最大速度「翻转轴」(rag/sec) | 9.42 |
| 最大速度「最大可搬重量」(kg) | 2 |
| 最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.05 |
| 最大速度「本体重量」(kg) | 70 |
| 最大速度「控制器」 | SC5000 |
| 产品搬运公司 | 日本电产三協 |
