FAシステム製品

ニデックインスツルメンツのFAシステム製品についてご説明いたします。

ニデックインスツルメンツは、液晶基板搬送ロボットや半導体用ウエハー搬送ロボットの他FA自動化システムを提供しています。FPD製造装置用のローダアンローダやCF、PI工程、ODF工程のインラインシステムを自社の液晶基板搬送ロボットと合わせて提供します。FPD製造後工程の分野では、様々な形状のFPDモジュールに対応した自動点灯、自動検査を行う検査の自動化システムを提供します。

M-CONTact^TM シリーズ
FPDモジュール自動点灯検査装置及び周辺設備

FPDモジュール自動点灯検査装置

FPDの後工程は生産品種が多岐に渡り、工程の標準化が非常に難しく、現在も人の手による作業が伴う部分も多くみられます。ニデックインスツルメンツはこの問題を解決するため、生産工程で完成に近づいていく過程のモジュールの動作確認、検査を全自動で行う為に必須な機能として、シグナルインターフェースに自動コンタクト可能な点灯検査装置 ”M-CONTact^TM” seriesをご用意し自動化へのお手伝いを致します。

M-CONTact^TMの基本コンセプト

点灯不良にお困りではないですか？ 確実に点灯させるための技術で解決いたします
確実に点灯させる技術：様々な製品形状、構造及び インターフェースに対応する為、多彩な形状に対応可能な 画像処理 コンタクトユニットを搭載することにより確実な自動点灯検査を実現させます。FPC、各種コネクターなどへの自動コンタクトでお困りの場合はご相談ください。

自由度、発展性をコンセプトに、多品種少量生産の自動化、省人化、設置スペース効率化を実現します
フレキシブル対応技術：多品種少量生産に対応する為に切替治具関係の最小限化を行い、段取り時間短縮を実現します。治具は設計標準化によりお客様側で製作対応可能です。現在ご使用の治具もご相談により装置化対応致します。装置サイズ小型化によりニーズに合わせた装置レイアウトへフレキシブルに対応します。またオプション追加により検査を含めた点灯プロセス（※ムラ検査、輝度色度測定、OTPなど）に対応可能です。

誤検出などにお困りではないでしょうか？検査に必要な最適検査環境を提供します
最適な検査環境技術：画像処理に必要な最適な徹底した暗室環境、光学環境及び調整機構で対応します。異物、傷などの要因による過検出防止機能を搭載しています。撮像時の振動対策も考慮した装置設計となっております。

自動コンタクト技術
点灯検査に必要な技術として重要な「確実に点灯させる技術」をニデックインスツルメンツでは保持しています。
もとより保有している自動搬送技術や画像処理により、さまざまなコネクター形状、ケーブルを繊細にハンドリングし、その形状を確実に位置認識し、信号を通信する為のプローブユニットへ確実にコンタクトさせることが可能です。

対応モジュール例

モバイル系形状

車載系形状

液晶パネル形状

OLEDシート形状

製品一覧
M-CONTact^TMシリーズ FPDモジュール自動点灯検査装置

型式表示方法

【表示例：Type-PK-1-C120】

ラインアップ一覧

FPDモジュール周辺装置

点灯検査用及びプロセス装置用ローダアンローダ

点灯検査用ローダアンローダ

 

FPD製造装置ローダアンローダ及び搬送システム

ローダアンローダシステム
当社のFPD搬送ロボットを使ったローダアンローダシステムを提供します。
液晶基板製造工場で、ARRAY、CF、CELL工程でインデクサやインラインシステムの納入実績があります。
各工程では、カセットステージ、基板のアライメント、旋回ターン、基板を天地反転するターンオーバー等のユニットが必要になり、必要に応じた専用のユニットを含めてラインを構築します。

【参考例：CELL ODF工程】

2段カセットステージ

バッファーカセット

ターンオーバー

ターンオーバー
（貼り合わせ後）

8世代のロボットを使ったローダアンローダ装置

ワイヤカセット＋コンベアロボット＋トランスファロボット組み合わせによる装置へのパネル供給システム

自社の大型液晶ガラス基板搬送ロボットにて最適なレイアウトでのインラインシステム構築を提案します
当社の大型液晶ガラス基板搬送用ロボットは、大型基板搬送に対応した剛性を持ち、ロボット本体部の軽量化やモーターのパワーアップにより高速動作が可能です。炭素繊維強化プラスチック（CFRP)を採用しフォーク内部を中空構造としフォークの先端部を幅、高さ方向にテーパー化したダブルテーパー構造として軽量化を図っています。CFRPは繊維の方向、形状で剛性が変化する材料であり形状と繊維方向の組み合わせを工夫することで軽量、高剛性に適した構造としており、CFRPハンドを採用することで、高速、高精度、低振動の搬送が可能となっています。
クリーン対策については、発塵箇所に近い位置にファン付のフィルターユニットを取り付け十分な負圧を発生出来る排気構造を採用。ユーザー要求であるフットプリント低減に対して、ロボットのアームを水平に配置せず、支柱を軸として上下に重ねて配置する構造とし、水平配置と比べ1アーム分の旋回半径しか必要としないため、占有面積削減が可能となります。上下配置アームの採用でも、長年にわたる経験で培ったノウハウを生かしたクリーン化技術により高い防塵性を実現しています。また、姿勢によるモータ軸負荷の変化のない直動軸を上下軸に採用して省電力化が可能です。
メンテナンスについては低位置でのメンテナンスが可能な位置に機構部品を集め、高所作業を極力排除した構造としています。駆動部の減速機とサーボモータをユニット化し、交換時の調整要素をなくすことでメンテナンス性をより向上しています。

3D仮想ロボットの机上動作シミュレーションにて、ご要望タクトに最適な装置レイアウトを提案します
3D Analyzerは、コントローラのみを使い実際のロボットの替わりに仮想的なロボットの動作をシミュレーションするものです。実際のロボットに設定されているパラメータファイルをそのまま使用することでそこに定義されたロボットをシミュレーションすることが可能となります。仮想的なロボットの動作をＰＣ上で３Dアニメーション表示ができ、色々な角度から見ることもできます。実機検証前に机上で確認することができ開発効率が大きく向上しています。実機との時間誤差はほとんど無くロボット導入前のタクト検証に非常に有効なツールです。

ガラス基板たわみシミュレーションにて最適なハンドリング条件を算出、装置や周辺装置やロボット取り合い決定に貢献
ロボットハンド上や取り置き場所のガラスの状態をシミュレーションし最適なハンドリング条件を算出する場合、汎用FEMソフトANSYSによるシェル要素を使った解析が有効です。ガラス板を数箇所の支持材上置いたときのガラス板が自重によりどの程度たわむかをモデル化し、たわみによる変形、応力発生の表示、任意の断面におけるたわみを求めることができます。搬送ロボットのハンド設計、ロボットのアクセス装置との取り合い検証に貢献致します。

IoTによる全体オートメーションの構築を提案します
設備の稼動状況モニタ・CIMデータなど工程の情報をネットワークに上げ全体オートメーションの構築を提案します。監視カメラ、静電気モニタ等の監視センサーを接続し、上位に上げる機能を付加して対応します。ロボットの予防保全管理とパラメータ管理をCIMPCにてデータ处理を行い、設定入力・報告表示を行います。状態監視報告について、ESD・電力・カメラ等の状態監視は、ローダーに機器を設置し、网络経由でホストへ報告します。

CIM対応
CIMPCによるインラインのトータル情報管理、ローダマスタ、BCの各種CIM対応を含めた制御システム及びそれらを実現するための装置間インターフェースをご提供致します。

【ニデックインスツルメンツ標準 装置間インターフェース仕様 / CIM対応ネットワーク例】

【装置間インターフェース提供フロー例】

高い実績を誇る、装置間の通信や情報収集、管理を含む装置間インタフェース仕様を提供
各ラインに合わせたネットワークの構築を当社の標準仕様を用いることにより行い、情報管理のニーズに合わせて、装置間インターフェース仕様を作成致します。装置間のハードウェア、ソフトウェアのインターフェース個別確認や、装置メーカへの共通仕様説明をはじめとし、CIM情報報告に関する仕様説明など、各装置メーカの担当者と打合せを実施します。

安定稼働に向けてのFABでの装置インターフェースも確実な確認を実施
チェックシートに従い、各装置単位でのインターフェース確認を、現場実機にて実施します。FABテストの前に、シミュレーション環境を用いて疑似的にインターフェースのシミュレーション確認を行う事も可能です。

わかりやすいマン・マシン・インターフェースの提供
装置状態をリアルタイムで視覚的にわかりやすく表現します。通信ログ、信号変化ログ、エラー履歴など、豊富なロギング機能を持ち、トラブル解析に寄与します。必要に応じてログをファイル化して取り出す事も可能です。

お問い合わせ先

ニデックインスツルメンツ株式会社

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