機器装置・工作機械｜FA機器｜ウェハー搬送ロボット 本体
SR99S5 Series
ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
| 動作範囲 R軸 | -2300～+2300mm |
|---|---|
| 動作範囲 Z軸 | ～4700mm |
| 動作範囲 θ軸 | -185～+185° |
| 動作範囲 走行軸 | ～15700mm |
| 最大速度 R軸 *1 | 1.92rad/sec |
| 最大速度 Z軸 *1 | ～1250mm/sec |
| 最大速度 θ軸 *1 | 1.57rad/sec |
| 最大速度 走行軸 *1 | ～2000mm/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.25mm |
| 最大可搬重量 | 65kg/1Arm(HAND含む) |
