機器装置・工作機械｜FA機器｜液晶ガラス基板搬送ロボット 本体
SR8653
ニデックインスツルメンツ株式会社
- 特徴：
- ・常温から高温まで対応する多種のEndEffectorを準備・駆動部をユニット化することでメンテナンスを容易化・長いZストローク3段LLに対応可能・コントローラが小型化・独自のクーリングシステムを採用し、高い温度環境に対応・R部と本体が分割容易で保守点検/チャンバーへの入れ込み簡略化・セラミックハンド使用で高いモーメントに対応可能・高い精密部品とハイブリッドベルトを使用したアーム駆動機構・R軸をリニア駆動することで高い直進性を確保(SR8653シリーズ)
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製品データ
基本情報
| 真空度(Pa) | 1.33×10-2 |
|---|---|
| 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
| 動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | 3620 |
| 動作範囲「Z軸」(㎜) | 820 |
| 動作範囲「θ軸」(㎜) | +140～-185 |
| 最高速度「RR/RL軸」(deg./sec) | 2700 |
| 最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 500 |
| 最高速度「θ軸」(rads/sec) | 2.09 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.25 |
| 最高速度「騒音」(dB) | 85 or less |
| 最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～2200×2500 t=0.5～0.7 |
| 取扱い会社 | 日本電産サンキョー |
