设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR8608

尼得科仪器株式会社

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点:
・可实现高速取放的2手臂×2个最大直径(SR8608系列)・飞镖型手臂可实现最小旋转半径(实现较小的占地面积)・用很长的可动距离来确保大的预存量
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产品数据

基本信息

真空度(Pa) 3×10-6
自由度(附带绝对编码器) 4-AXIS
動作範囲「RR/RL轴」(㎜) -340~+360
動作範囲「θ轴」(deg) -95~+185
動作範囲「Z轴」(㎜) 150
最大速度「RR/RL轴」(deg) 225(2670㎜/sec)
最大速度「θ轴」(deg/s) 225
最大速度 「Z轴」(㎜/s) 100
最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.1
最大速度「噪音」(dB) 70 or less
最大速度「本体重量」(kg) 180(include hand)
最大速度「漏率」 1×10-6Pa・m3/sec
最大速度「主体外护套」 SUS cover, Aluminum cover
最大速度「运行条件」 0~40℃,30~90%
最大速度「储存条件」 -30~70℃,10~95%
产品搬运公司 日本电产三協

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