精密位置検出器｜直線位置検出器（FA用テープスケール）｜直線位置検出器（FA用テープスケール）
テープ式MPFAシリーズ
取扱い会社名：ニデックマシンツール株式会社
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コストパフォーマンスが良い
コンパクト
スケールは薄く、厚さ0.4mmのテープ。
ヘッドは50×21×12。
高分解能・高速
0.1μm・30m/sec
切断可能
スケールは任意の長さに切断可能です。
耐環境性
電磁誘導であるため、パターンへの表面汚れの影響を受けずに位置検出ができます。
各社のサーボアンプに接続可能
MELSERVO、PANASONIC
長期間安定した精度
固定部と可動部が非接触なので長期間安定した精度
充実した診断機能で簡単調整
GAP(スケールとヘッドの隙間)の数値と現在位置表示を確認できるので、組立時や保守に便利です。
マルチヘッドが可能
仕様の異なるヘッドの使用も可能です。
特長
スケールは薄く、厚さ0.4mmのテープ。
ヘッドは50×21×12。
0.1μm・30m/sec
スケールは任意の長さに切断可能です。
電磁誘導であるため、パターンへの表面汚れの影響を受けずに位置検出ができます。
MELSERVO、PANASONIC
固定部と可動部が非接触なので長期間安定した精度
GAP(スケールとヘッドの隙間)の数値と現在位置表示を確認できるので、組立時や保守に便利です。
仕様の異なるヘッドの使用も可能です。
高速・高分解能
0.1μm・30m/sec
リニアモータ駆動のステージに取付けて、0.1μm検出で高速運転を行っています。
優れた耐環境性
光学式ではなく、「電磁誘導式」なので、表面汚れの影響ありません。マジックで、スケール表面を汚しても問題なく動作します。
高速移動を行うリニアモータ付きのステージの位置検出に最適です。
動画の例では、リニアステージの右側面にスケールとヘッドが取付いています
型式
仕様
出力信号・分解能・最大応答速度
| 対応AMP | 出力信号 | 分解能 | 最大応答速度 | 備考 |
|---|---|---|---|---|
| 三菱電機殿 MELSERVO-J4 |
シリアル信号 | 0.1μm | 30m/sec | |
| PANASONIC殿 MINAS A6シリーズ |
シリアル信号 | 0.1μm | 30m/sec | |
| 一般制御装置 | A･B･Z相 矩形 |
1.0μm | 3m/sec | 最大出力制限が3MHz(4逓倍後) |
| 0.1μm | 0.3m/sec | 最大出力制限が3MHz(4逓倍後) |
このほかのシリアル接続も準備中。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 精度 | 直線精度 ±15μm/m |
| 測定方法 | インクリメンタル |
| ストローク | ～9,950mm （スケール全長 -50mm） |
| マルチヘッド | 可能 ヘッドのインターフェース仕様は異なっても良い。 |
| 取付方法 | スケール：テープタイプで接着方式 ヘッド ：ビス固定式 |
| 電源 | 5V 制御装置から供給 |
| 状態表示 | 緑色：正常時 赤色：異常時（GAPが広い） |
構成
寸法図