機器装置・工作機械｜FA機器｜液晶ガラス基板搬送ロボット 本体
SR8652
ニデックインスツルメンツ株式会社
- 特徴：
- ・常温から高温までの対応する多種のEndffectorを準備・駆動部をユニット化することでメンテナンスを容易化・長いZストロークで3段LLに対応可能・コントローラが小型化・独自のクーリングシステムを採用し、高い温度環境に対応・R部と本体が分割容易で保守点検/チャンバーへの入れ込み簡略化・セラミックハンド使用で高いモーメントに対応可能・高い精度部品とハイブリッドベルトを使用したアーム駆動機構
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製品データ
基本情報
| 真空度(Pa) | 1.33×10-2 |
|---|---|
| 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
| 動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | 2720 |
| 動作範囲「Z軸」(㎜) | 465(Solar)/670(LCD) |
| 動作範囲「θ軸」(deg) | +140～-185 |
| 最高速度「RR/RL軸」(㎜/sec) | 2474 |
| 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 400 |
| 最高速度「θ軸」(rads/s) | 2.09 |
| 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.2 |
| 最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
| 最高速度「ガラス大きさ」(㎜) | 1100×1300 t=4～5(Solar)/～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD) |
| 取扱い会社 | 日本電産サンキョー |
