设备装置・机床|FA设备|晶圆搬运机器人 本体

SR8651 Series

尼得科仪器株式会社

G4.5~6G

特点:
采用手臂驱动方式使旋转半径较小
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产品数据

基本规格

真空度 1.3×10-5 Pa or less
动作范围 R轴 -565 ~ +565 ㎜
动作范围 Z轴 ~820 ㎜
动作范围 θ轴 -185 ~ +140°
最大速度 R轴 1.22 rad / sec
最大速度 Z轴 350 ㎜ / sec
最大速度 θ轴 2.09 rad / sec
重复定位精度 ±0.2 ㎜
最大有效载荷 65 kg / 1Arm (包HAND)

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