设备装置・机床｜FA设备｜晶圆搬运机器人 本体
SR9581 Series
尼得科仪器株式会社
产品数据
基本规格
| 动作范围 Ｒ轴 | -2925 ～ +2575 ㎜ |
|---|---|
| 动作范围 Ｚ轴 | ～6200 ㎜ |
| 动作范围 θ轴 | -140 ～ +185 ° |
| 动作范围 走行轴 | ～16500 ㎜ |
| 最大速度 Ｒ轴 | 1.86 rad / sec |
| 最大速度 Ｚ轴 | 1300 ㎜ / sec |
| 最大速度 θ轴 | 1.05 rad / sec |
| 最大速度 走行轴 | ～2000 ㎜ / sec |
| 重复定位精度 | ±0.25 ㎜ |
| 最大有效载荷 | 150 kg / 1Arm (包HAND) |
