产品信息

下日本电产三协的特殊机器人
我们日本电产三协提供了世界上的半导体晶圆搬运和液晶・OLED玻璃基板搬运的机器人,其中机器人的驱动部分是由本公司自行开发的半导体晶圆搬运机器人具有超低振动,高速,体积小,效率高的特点,以及可以应对用户的特殊需求,比如真空,高温,化学液体等特殊环境。
三协的玻璃基板搬运机器人,以其拥有的超低振动控制等核心技术,被公认为行业标准,世界市场占有率达80%,对于最大3米见方且小于1毫米厚度的玻璃基板,在用叉子承载时是会有很大的弯曲度,加上在机器人搬运过程中的振动,会使玻璃基板摇晃而折断,对此,日本电产三协的机器人振动控制技术的运用,实现了安全高速的搬运,为用户的高效率生产提供了保障。
日本电产三协也在不断地注力于新技术的开发,这就是PLP玻璃载板的搬运,FO-PLP搬运机器人是结合了半导体晶圆搬运和面板玻璃搬运机器人的特点,成功地开发出了适用于FO-PLP工艺的特殊用途机器人。

FO-PLP制造工程

日本电产三协强力支持在半导体封装工程的大变革产生的FO-PLP制造。
FO-PLP的生产方法,可大致分为Mold first和RDL first两种。
Mold first又可分为Face-down和Face-up。这些都是在玻璃载板上排列完成大量的半导体芯片,然后再进行工艺处理。
而现在最普及的RDL-First,载体使用的是玻璃。工程中,使用PLP专用片盒存放玻璃载板,并用PLP专用的load port进行搬运。
在Load Port上,打开片盒门,使用EFEM里的机器人把玻璃载板一片片地取出,送到工艺设备里。

PLP玻璃载板搬运时的特点

玻璃载板可以承载大多数的半导体芯片,在PLP制造过程中,有许多如成型等重复的工艺,因工艺过程和芯片的自重,会造成玻璃载板的翘曲,工艺和芯片的不同,造成了玻璃载板的各种不同的翘曲度,这就给机器人用叉子从片盒取放玻璃载板带来了困难:容易造成玻璃载板间的碰擦。
我们是液晶・OLED玻璃基板搬运机器人业界世界市场占有率居第一的公司,对于这个玻璃搬运中的翘曲和振动,运用了我公司特有的振动控制和高速搬运技术,很好地解决了这一难题。
日本电产三协应用了成熟的基板搬运技术,解决了PLP玻璃载板的搬运难题,为业界提供了高速度,高品质的搬运机器人。

FO-PLP相关的SEMI规格

PLP 载板尺寸:510×515mm和600×600mm2种SEMI规格予定。

有关PLP、以下的SEMI規格正在开发中。
PLP Glass Carrier:正在开发中
PLP Glass Carrier ID Marking:正在开发中
PLP FOUP:正在开发中
PLP Load Port:正在开发中

现有SEMI规格,可从以下URL确认
日本語URL:http://www1.semi.org/jp/node/61402
英語URL:https://www.semi.org/en/Standards/StandardsPublications

PLP Glass carrier:提供者是AGC Inc.

PLP FOUP:提供者是Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.

详细的产品信息

液晶・OLED玻璃基板・FO-PLP搬运机器人

玻璃尺寸(G) 机器人型号 Data sheet 环境(大气/氮气) 真空 特征
G10.5 SR9581 Series
SR8670 Series 手臂伸展时旋转轴的旋转半径较小
SR8673 Series 采用滑块驱动方式,直线性能优异
G8.6 SR99S5 Series
SR8670 Series 手臂伸展时旋转轴的旋转半径较小
SR8653 Series 采用滑块驱动方式,直线性能优异
G6 SR9145 Series 采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
SR99L1 Series 采用支柱式结构(应对Z轴比较长的状态)
SR8651 Series 采用手臂驱动方式使旋转半径较小
G4.5 SR9143 Series 采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
SR9183 Series 采用支柱式结构(应对Z轴比较长的状态)
SR8651 Series 采用手臂驱动方式使旋转半径较小
G2 SR9143 Series 采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
SR9148 Series 采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
SR9183 Series 采用支柱式结构(应对Z轴比较长的状态)
SR8651 Series 采用手臂驱动方式使旋转半径较小
FO PLP
(510mm×515mm)
(600mm×600mm)
 
SR9148 Series EFEM用
SR9183 Series 可用于EFEM(应对多层设备)

晶圆搬运用机器人

模型 SR8230 SR8220 SR8240 SR8241
晶圆尺寸 200mm and 300mm 200mm and 300mm 200mm and 300mm 200mm and 300mm
宪法 圆柱坐标类型Single Arm 圆柱坐标类型Double Arm 3-link 水平铰接 3-link 水平铰接
自由运动轴 3 4 5 5
工作
范围
Arm 伸缩范围 R axis (standard arm) -212 ~ +321 mm
Short arm (option)
-265 ~ +245 mm
Long arm (option)
-319 ~ +447 mm
R axis (standard arm) -212 ~ +321 mm
Short arm (option)
-265 ~ +245 mm
Long arm (option)
-319 ~ +447 mm
X axis -432 ~ +432 mm X axis -650 ~ +650 mm
- R axis (standard arm) -212 ~ +321 mm
Short arm (option)
-265 ~ +245 mm
Long arm (option)
-319 ~ +447 mm
- -
Arm 转动范围 TH axis 340deg TH axis 340deg TH axis ±180deg TH axis ±170deg
垂直工作范围 Z axis (standard) 300 mm
(option) 400/450/500mm
Z axis (standard) 300 mm
(option) 400/450/500mm
Z axis 300 mm Z axis 300 mm
Arm 回转 - - Roll axis ±240 deg Roll axis ±275 deg
- - Roll axis ±240 deg Roll axis ±275 deg
最大运动
速度
Arm 伸缩范围 R axis 5.76 rad / sec R1 axis 5.76 rad / sec X axis 1680mm / sec X axis 1709mm / sec
- R2 axis 5.76 rad / sec - -
Arm 转动范围 TH axis 6.98 rad / sec TH axis 6.98 rad / sec TH axis 8.72 rad / sec TH axis 6.54 rad / sec
垂直工作范围 Z axis 450 mm / sec Z axis 450 mm / sec Z axis 450 mm / sec Z axis 700 mm / sec
Arm 回转 - - Roll first axis 9.42 rad / sec Roll first axis 9.42 rad / sec
- - Roll second axis 9.42 rad / sec Roll second axis 9.42 rad / sec
重复定位精度 ±0.1 mm ±0.1 mm ±0.1 mm ±0.1 mm
清洁度 ISO Class 1 ISO Class 1 ISO Class 1 ISO Class 1

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