液晶玻璃基板搬运用机器人
SR9188
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
R軸 | 動作範囲 -520～+770mm 、 最大速度 1743mm/sec |
|---|---|
Z軸 | 動作範囲 425/1000/1400mm 、 最大速度 300mm/sec |
θ軸 | 動作範囲 -95～+185° 、 最大速度 2.09rad/sec |
走行軸 | 動作範囲 1000mm/2100mm/3000mm/3900mm/4800mm/5700mm 、 最大速度 550mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.2mm |
最大可搬重量 | 8㎏/１Arm（HAND含） |
R軸 | 動作範囲 -520～+770mm 、 最大速度 1743mm/sec | Z軸 | 動作範囲 425/1000/1400mm 、 最大速度 300mm/sec |
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θ軸 | 動作範囲 -95～+185° 、 最大速度 2.09rad/sec | 走行軸 | 動作範囲 1000mm/2100mm/3000mm/3900mm/4800mm/5700mm 、 最大速度 550mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.2mm | 最大可搬重量 | 8㎏/１Arm（HAND含） |