液晶玻璃基板搬运用机器人
SR8651
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
真空度(Pa) | 1.33×10-2 |
|---|---|
自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
动作范围「RR/RL 轴」(㎜) | 2400 |
动作范围「Z 轴」(㎜) | 250/450 |
可动范围「θ軸」(deg) | +140～-185 |
最大速度「RR/RL軸」(㎜/sec） | 3370 |
最大速度「Z 轴」(㎜/s) | 300 |
最大速度「θ轴」(rads/s) | 2.09 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.2 |
最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1 |
产品搬运公司 | 日本电产三協 |
真空度(Pa) | 1.33×10-2 | 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
动作范围「RR/RL 轴」(㎜) | 2400 | 动作范围「Z 轴」(㎜) | 250/450 |
可动范围「θ軸」(deg) | +140～-185 | 最大速度「RR/RL軸」(㎜/sec） | 3370 |
最大速度「Z 轴」(㎜/s) | 300 | 最大速度「θ轴」(rads/s) | 2.09 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.2 | 最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1 | 产品搬运公司 | 日本电产三協 |