液晶玻璃基板搬运用机器人
SR8652
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
真空度 | 1.33×10-2 |
|---|---|
自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
动作范围「RR/RL 轴」(㎜) | 2720 |
动作范围「Z 轴」(㎜) | 465(Solar)/670(LCD) |
动作范围「θ轴」(deg) | +140～-185 |
最大速度「RR/RL 轴」(㎜/sec) | 2474 |
最大速度「Z 轴」(㎜/s) | 400 |
最大速度「θ轴」(rads/s) | 2.09 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.2 |
最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | 1100×1300 t=4～5(Solar) |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD) |
真空度 | 1.33×10-2 | 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
动作范围「RR/RL 轴」(㎜) | 2720 | 动作范围「Z 轴」(㎜) | 465(Solar)/670(LCD) |
动作范围「θ轴」(deg) | +140～-185 | 最大速度「RR/RL 轴」(㎜/sec) | 2474 |
最大速度「Z 轴」(㎜/s) | 400 | 最大速度「θ轴」(rads/s) | 2.09 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.2 | 最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | 1100×1300 t=4～5(Solar) | 最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD) |