液晶玻璃基板搬运用机器人
SR8653
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
真空度 | 1.33×10-2 |
|---|---|
自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
动作范围「RR/RL 轴」(㎜) | 3620 |
动作范围「Z轴」(㎜) | 820 |
动作范围「θ轴」(deg) | +140～-185 |
最大速度「RR/RL轴」(deg./sec) | 2700 |
最大速度「Z 轴」(mm/sec) | 500 |
最大速度「θ轴」(rads/sec) | 2.09 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.25 |
最大速度「噪音」(dB) | 85 or less |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～2200×2500 t=0.5～0.7 |
产品搬运公司 | 日本电产三協 |
真空度 | 1.33×10-2 | 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
动作范围「RR/RL 轴」(㎜) | 3620 | 动作范围「Z轴」(㎜) | 820 |
动作范围「θ轴」(deg) | +140～-185 | 最大速度「RR/RL轴」(deg./sec) | 2700 |
最大速度「Z 轴」(mm/sec) | 500 | 最大速度「θ轴」(rads/sec) | 2.09 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.25 | 最大速度「噪音」(dB) | 85 or less |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～2200×2500 t=0.5～0.7 | 产品搬运公司 | 日本电产三協 |