液晶玻璃基板搬运用机器人
SR8665
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
真空度 | 1.3×10-5 |
|---|---|
自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
动作范围「S轴」(deg) | +/-290 +/-150 |
动作范围「Z轴」(㎜) | 250～820 |
动作范围「θ1轴」(deg) | +/-290 |
最大速度「S轴」(deg./s) | 100/115 |
最大速度「Z轴」(㎜/s) | 160～350 |
最大速度「θ1轴」(deg./s) | 100 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.5 |
最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
最大速度「本体重量」(kg) | 100 |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～1500×925 t=0.4～0.7 1700×1100 |
真空度 | 1.3×10-5 | 自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
动作范围「S轴」(deg) | +/-290 +/-150 | 动作范围「Z轴」(㎜) | 250～820 |
动作范围「θ1轴」(deg) | +/-290 | 最大速度「S轴」(deg./s) | 100/115 |
最大速度「Z轴」(㎜/s) | 160～350 | 最大速度「θ1轴」(deg./s) | 100 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.5 | 最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
最大速度「本体重量」(kg) | 100 | 最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～1500×925 t=0.4～0.7 1700×1100 |