液晶玻璃基板搬运用机器人
SR8670
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
真空度 | 5.0×10-3 |
|---|---|
自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
动作范围「RR/RL轴」(㎜) | -2400～+2530 |
动作范围「Z轴」(㎜) | 670 |
动作范围「θ轴」(deg) | 67～-185 |
最大速度「RR/RL轴」(deg./S) | 45 |
最大速度「Z轴」(㎜/s) | 400 |
最大速度「θ轴」(deg./s) | 72 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/- 0.5 |
最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～3000×3400 t=0.4～0.7 |
产品搬运公司 | 日本电产三協 |
真空度 | 5.0×10-3 | 自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
动作范围「RR/RL轴」(㎜) | -2400～+2530 | 动作范围「Z轴」(㎜) | 670 |
动作范围「θ轴」(deg) | 67～-185 | 最大速度「RR/RL轴」(deg./S) | 45 |
最大速度「Z轴」(㎜/s) | 400 | 最大速度「θ轴」(deg./s) | 72 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/- 0.5 | 最大速度「噪音」(dB) | 80 or less |
最大速度「基板尺寸」(㎜) | ～3000×3400 t=0.4～0.7 | 产品搬运公司 | 日本电产三協 |