液晶玻璃基板搬运用机器人
SR8673 Series
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
真空度 | 1.3×10－3 Pa or less |
|---|---|
动作范围 Ｒ轴 | 4725 ㎜ |
动作范围 Ｚ轴 | ～1000 ㎜ |
动作范围 θ轴 | -185 ～ +140° |
最大速度 Ｒ轴 | 3000 ㎜ / sec |
最大速度 Ｚ轴 | 400 ㎜ / sec |
最大速度 θ轴 | 1.57 rad / sec |
重复定位精度 | ±0.25 ㎜ |
真空度 | 1.3×10－3 Pa or less | 动作范围 Ｒ轴 | 4725 ㎜ |
|---|---|---|---|
动作范围 Ｚ轴 | ～1000 ㎜ | 动作范围 θ轴 | -185 ～ +140° |
最大速度 Ｒ轴 | 3000 ㎜ / sec | 最大速度 Ｚ轴 | 400 ㎜ / sec |
最大速度 θ轴 | 1.57 rad / sec | 重复定位精度 | ±0.25 ㎜ |