液晶玻璃基板搬运用机器人
SR3183H/SR9173/SR9193
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
双手臂 | SR9183H |
|---|---|
单手臂 | SR9173H/SR9193H |
动作范围「RR/RL轴」(㎜) | -1190～+1190 |
动作范围「Z轴」(㎜) | 1300/1600/1900/2200/2400 |
动作范围「θ轴」(deg) | -140～+185 |
动作范围「走行轴」(㎜) | 0 & 300～10200(300 pitch) |
最大速度「RR/RL轴」(rad/s) | 3.32 |
最大速度「Z轴」(㎜/s) | 900 |
最大速度「θ轴」(rad/s) | 2.4 |
最大速度「走行轴」(㎜/s) | 3000 |
最大速度「重复精度」(㎜) | ±0.2 |
最大速度「本体重量」(kg) | SR9183H：300/SR9173H：250/SR9193H：250 |
双手臂 | SR9183H | 单手臂 | SR9173H/SR9193H |
|---|---|---|---|
动作范围「RR/RL轴」(㎜) | -1190～+1190 | 动作范围「Z轴」(㎜) | 1300/1600/1900/2200/2400 |
动作范围「θ轴」(deg) | -140～+185 | 动作范围「走行轴」(㎜) | 0 & 300～10200(300 pitch) |
最大速度「RR/RL轴」(rad/s) | 3.32 | 最大速度「Z轴」(㎜/s) | 900 |
最大速度「θ轴」(rad/s) | 2.4 | 最大速度「走行轴」(㎜/s) | 3000 |
最大速度「重复精度」(㎜) | ±0.2 | 最大速度「本体重量」(kg) | SR9183H：300/SR9173H：250/SR9193H：250 |