晶圆搬运机器人
SR8230
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
手臂 | 双手臂单刀片型 |
|---|---|
自由度(附带绝对编码器) | 5-AXES |
可动范围「R轴」(㎜) | (第1,2轴手臂)534 |
可动范围「Ｚ軸」(㎜) | 300/600 |
可动范围「θ軸」(deg) | 340 |
最大速度「R轴」(rad/sec) | (第1,2轴手臂)5.76 |
最大速度「Ｚ軸」(㎜/sec) | 450 |
最大速度「θ軸」(rad/sec) | 6.98 |
往复精度(㎜) | +/-0.1 |
洁净度 | ISO Class 2 |
产品搬运公司 | NIDEC INSTRUMENTS |
手臂 | 双手臂单刀片型 | 自由度(附带绝对编码器) | 5-AXES |
|---|---|---|---|
可动范围「R轴」(㎜) | (第1,2轴手臂)534 | 可动范围「Ｚ軸」(㎜) | 300/600 |
可动范围「θ軸」(deg) | 340 | 最大速度「R轴」(rad/sec) | (第1,2轴手臂)5.76 |
最大速度「Ｚ軸」(㎜/sec) | 450 | 最大速度「θ軸」(rad/sec) | 6.98 |
往复精度(㎜) | +/-0.1 | 洁净度 | ISO Class 2 |
产品搬运公司 | NIDEC INSTRUMENTS |