晶圆搬运机器人
SR8240
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
自由度 | 5-AXIS |
|---|---|
可动范围「翻转轴」(deg) | -270～+450 |
可动范围「X轴」(㎜) | -432～+432 |
可动范围「Z轴」(㎜) | 300 |
可动范围「θ轴」(deg) | +/-180 |
最大速度「翻转轴」(rad/sec) | 9.42 |
最大速度「X轴」(㎜/s) | 1680 |
最大速度「Z轴」(㎜/s) | 500 |
最大速度「θ轴」(㎜/s) | 8.72 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.1 |
最大速度「本体重量」(kg) | 60 |
最大速度「控制器」 | SC5000 |
自由度 | 5-AXIS | 可动范围「翻转轴」(deg) | -270～+450 |
|---|---|---|---|
可动范围「X轴」(㎜) | -432～+432 | 可动范围「Z轴」(㎜) | 300 |
可动范围「θ轴」(deg) | +/-180 | 最大速度「翻转轴」(rad/sec) | 9.42 |
最大速度「X轴」(㎜/s) | 1680 | 最大速度「Z轴」(㎜/s) | 500 |
最大速度「θ轴」(㎜/s) | 8.72 | 最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.1 |
最大速度「本体重量」(kg) | 60 | 最大速度「控制器」 | SC5000 |