晶圆搬运机器人
SR8241
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
自由度 | 5-AXIS |
|---|---|
可动范围「翻转轴」(deg) | +/-275 |
可动范围「X轴」(㎜) | -750～+750 |
可动范围「Z轴」(㎜) | 470 |
可动范围「θ轴」(deg) | +/-170 |
最大速度「翻转轴」(rag/sec) | 9.42 |
最大速度「X轴」(rag/sec) | 2.44(1952㎜/sec) |
最大速度「Z轴」(㎜/sec) | 720 |
最大速度「θ轴」(rag/sec) | 6.54 |
最大速度「翻转轴」(rag/sec) | 9.42 |
最大速度「最大可搬重量」(kg) | 2 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.05 |
自由度 | 5-AXIS | 可动范围「翻转轴」(deg) | +/-275 |
|---|---|---|---|
可动范围「X轴」(㎜) | -750～+750 | 可动范围「Z轴」(㎜) | 470 |
可动范围「θ轴」(deg) | +/-170 | 最大速度「翻转轴」(rag/sec) | 9.42 |
最大速度「X轴」(rag/sec) | 2.44(1952㎜/sec) | 最大速度「Z轴」(㎜/sec) | 720 |
最大速度「θ轴」(rag/sec) | 6.54 | 最大速度「翻转轴」(rag/sec) | 9.42 |
最大速度「最大可搬重量」(kg) | 2 | 最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.05 |