晶圆搬运机器人
SR8250
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
手臂 | 双手臂单刀片型 |
|---|---|
自由度(附带绝对编码器) | 4-AXE |
可动范围「R軸」(㎜) | -300～+300 |
可动范围「Z軸」(㎜) | 300 |
可动范围「θ軸」(deg) | 360 |
最大速度「R軸」 | (第１、２軸轴手臂)225rad/sec(1900㎜/sec) |
最大速度「Z軸」(㎜/sec) | 300 |
最大速度「θ軸」(rad/sec) | 225 |
往复精度(㎜) | +/-0.1 |
洁净度 | ISO Class 2 |
产品搬运公司 | 日本电产三協 |
手臂 | 双手臂单刀片型 | 自由度(附带绝对编码器) | 4-AXE |
|---|---|---|---|
可动范围「R軸」(㎜) | -300～+300 | 可动范围「Z軸」(㎜) | 300 |
可动范围「θ軸」(deg) | 360 | 最大速度「R軸」 | (第１、２軸轴手臂)225rad/sec(1900㎜/sec) |
最大速度「Z軸」(㎜/sec) | 300 | 最大速度「θ軸」(rad/sec) | 225 |
往复精度(㎜) | +/-0.1 | 洁净度 | ISO Class 2 |
产品搬运公司 | 日本电产三協 |