晶圆搬运机器人
SR8608
生产和销售公司：尼得科仪器株式会社
产品数据
基本信息
真空度(Pa) | 3×10-6 |
|---|---|
自由度(附带绝对编码器) | 4-AXIS |
動作範囲「RR/RL轴」(㎜) | -340～+360 |
動作範囲「θ轴」(deg) | -95～+185 |
動作範囲「Z轴」(㎜) | 150 |
最大速度「RR/RL轴」(deg) | 225(2670㎜/sec) |
最大速度「θ轴」(deg/s) | 225 |
最大速度 「Z轴」(㎜/s) | 100 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.1 |
最大速度「噪音」(dB) | 70 or less |
最大速度「本体重量」(kg) | 180(include hand) |
最大速度「漏率」 | 1×10-6Pa・m3/sec |
真空度(Pa) | 3×10-6 | 自由度(附带绝对编码器) | 4-AXIS |
|---|---|---|---|
動作範囲「RR/RL轴」(㎜) | -340～+360 | 動作範囲「θ轴」(deg) | -95～+185 |
動作範囲「Z轴」(㎜) | 150 | 最大速度「RR/RL轴」(deg) | 225(2670㎜/sec) |
最大速度「θ轴」(deg/s) | 225 | 最大速度 「Z轴」(㎜/s) | 100 |
最大速度「重复精度」(㎜) | +/-0.1 | 最大速度「噪音」(dB) | 70 or less |
最大速度「本体重量」(kg) | 180(include hand) | 最大速度「漏率」 | 1×10-6Pa・m3/sec |