機器装置・工作機械|FA機器|ウェハー搬送ロボット 本体

SR8220

ニデックインスツルメンツ株式会社

自社開発のサーボモータと制御ソフトウェアにより、低振動で安定した高速搬送を高度なクリーン環境下で実現します。

特徴:
・2アーム機構により高スループットを実現・ウェハーの高速入替えやダブルピックが可能・高い直進性を確保・アームとZ軸のバリエーションを組み合わせ、様々な装置に対応可能・2インチ~8インチ共有運用から12インチ仕様の搬送に適用可能
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製品データ

基本情報

自由度 4-AXIS
可動範囲「R1/R2軸」(㎜) ショートアームタイプ:-265~+245/標準アームタイプ:-212~+321/ロングアームタイプ:-319~+447
可動範囲「Z軸」(㎜) 300/400/450/600
可動範囲「θ軸」(deg) 340
最高速度「R1/R2軸」(rad/sec) 5.76
最高速度「Z軸」(㎜/sec) 450
最高速度「θ軸」(rad/sec) 6.97
最高速度「最大可搬重量」(㎏) 2
最高速度「繰り返し精度」(㎜) +/-0.1
最高速度「本体重量」(㎏) 60/70/85
最大速度「コントローラ」 SC5000
取扱い会社 ニデックインスツルメンツ

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03-5740-3000

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