半導体パッケージ用自動検査装置
GATS®-6310
取り扱い会社名：ニデックアドバンステクノロジー株式会社
多面付けCSP基板 導通・短絡（絶縁）検査システム
0.6sec/ピースの超高速検査を実現 ! ファインピッチ＆極薄FC-CSP基板の検査に最適な高速高精度 次世代型検査装置が登場
・高速ステップ＆リピート機構
・総合アライメント精度±5.0μm
・部品内蔵（Embedded）基板対応
・Flexible Head System
・ケーブルレススキャナーで高速検査を実現
・ユニバーサル基板クランプ機構搭載
・スマートアライメント機能搭載