半導体パッケージ用自動検査装置
GATS®-7861
取り扱い会社名：ニデックアドバンステクノロジー株式会社
高速高精度‐上/下デュアルシャトル型ステップ＆リピート式 OPEN/LEAK自動パネル基板検査装置
FC-BGA多面付け基板をデュアルシャトルで効率よく検査、パネルレベルでファインピッチなBGA製品を検査、マガジン専用ハンドラーとの接続で安定検査を実現！
・上/下デュアルシャトル型
・総合アライメント精度±5.0μm
・部品内蔵（Embedded IC）基板対応
・パネルレベル検査対応
・バンプ製品を専用マガジン搬送にて安定検査